化硅陶瓷因其高强度、高硬度、高弹性模量、高比刚度、高导热系数、低热膨胀系数和优良的化学稳定性，被广泛应用于光刻机的关键部件，如工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等。